如何检测洁净室静压差

此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内外气流间的相互影响。

1、检测要求

（1）静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。

（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。

（3）测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。

（4）所测量记录的数据应精确到1.0Pa。

2、检测步骤

（1）先关闭所有的门。

（2）用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。

（3）记录所有数据。

3、合格标准

按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。

（1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。

（2）洁净室（区）与室外的静压差，不应小于10Pa。

（3）对于空气洁净度等级严于5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

（4）若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。