如何检测洁净室静压差

2024-06-19 16:20

此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内外气流间的相互影响。

1、检测要求

(1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。

(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。

(3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行。

(4)所测量记录的数据应精确到1.0Pa


2、检测步骤

(1)先关闭所有的门。

(2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。

(3)记录所有数据。


3、合格标准

按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。

(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5Pa

(2)洁净室(区)与室外的静压差,不应小于10Pa

(3)对于空气洁净度等级严于5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

(4)若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。




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